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TTS-3000 EFEM

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关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:一体化水高峻,自动化水高峻,安全区庇护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制……

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简介

新紧不断致力于供给半导体晶周遭加工安然静其他庞的制造情况合需的高峻能、超干净安然静久经考验的可靠性。公司成功研发了真空传输平台,该平台事集成大气机器人,预瞄准机对等部件的综合性产物,能够给客户供给晶周遭传送的一体化方案。产物具有很壮的适应性,以满意特定的使用需求。鞭策了国内半导体产业链的前进,有用的支持了国内装备阛阓的开展。满意半导体制造商的希冀安然静要求。

参数

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